オプチカル・ホモジナイザー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：樺山亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-097134
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306304
出願日： 1994年05月11日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】容易且つ安価な製造が可能で、均一化する光に対する制限の少ないオプチカル・ホモジナイザーを実現する。【構成】同一の透明基板に、多数の等価なマイクロレンズLiを、光束Aの入射領域に分布させて形成して成るマイクロレンズ群素子10と、マイクロレンズ群素子10の後方に配備されるコンデンサーレンズ20とを有するオプチカル・ホモジナイザー。

請求項（抜粋）：

光束断面上の光強度が不均一な光束を入射され、所定位置に、均一な光強度を持った光束として集光する光学系であって、同一の透明基板に、多数のマイクロレンズを、上記光束の入射領域に分布させて形成して成るマイクロレンズ群素子と、このマイクロレンズ群素子の後方に配備されるコンデンサーレンズとを有することを特徴とする、オプチカル・ホモジナイザー。

IPC (3件)：

G02B 3/00 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 527

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-215009
光学デバイス及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-161407 出願人：三井石油化学工業株式会社
特開平1-257901

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