感光性組成物、パターン形成材料、感光性積層体、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：廣田浩一 , 流良広 , 松田奈緒子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-006649
公開番号（公開出願番号）：特開2007-108629
出願日： 2006年01月13日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：

【課題】高感度であるとともに、保存安定性が極めて高く、パターンを高精細に、かつ、効率よく形成可能な感光性組成物、該感光性組成物を積層したパターン形成材料及び感光性積層体、並びにパターン形成装置、及びパターン形成方法を提供する。【解決手段】バインダー、重合性化合物、及び光重合開始系化合物を少なくとも含み、前記光重合開始系化合物が、アクリドン化合物とオキシム誘導体とを含む感光性組成物である。支持体と、該支持体上に前記感光性組成物からなる感光層を少なくとも有するパターン形成材料である。前記感光性組成物からなる感光層を有する感光性積層体である。前記感光性積層体を備えており、光照射手段と光変調手段とを少なくとも有するパターン形成装置である。前記感光性積層体における前記感光層に対し、露光を行うことを少なくとも含むパターン形成方法である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

バインダー、重合性化合物、及び光重合開始系化合物を少なくとも含み、前記光重合開始系化合物が、アクリドン化合物とオキシム誘導体とを含むことを特徴とする感光性組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/031 , G03F 7/027 , G03F 7/033 , G03F 7/004 , G03F 7/11 , C08F 290/06 , C08F 290/12 , H05K 3/00 , G03F 7/20

FI (10件)：

G03F7/031 , G03F7/027 511 , G03F7/033 , G03F7/004 501 , G03F7/11 503 , C08F290/06 , C08F290/12 , H05K3/00 F , H05K3/00 G , G03F7/20 501

Fターム (126件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA11 , 2H025AB13 , 2H025AB14 , 2H025AB15 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025BC45 , 2H025BC53 , 2H025BC54 , 2H025BC66 , 2H025BC67 , 2H025BC74 , 2H025BC83 , 2H025CA07 , 2H025CA28 , 2H025CB08 , 2H025CB43 , 2H025DA33 , 2H025DA40 , 2H025EA08 , 2H025FA10 , 2H025FA17 , 2H097AA03 , 2H097FA02 , 2H097GB04 , 2H097LA09 , 4C034BC03 , 4C048AA01 , 4C048BB10 , 4C048CC02 , 4C048UU10 , 4C048XX01 , 4C204BB05 , 4C204BB09 , 4C204CB25 , 4C204DB01 , 4C204EB01 , 4C204FB03 , 4C204GB02 , 4C204GB13 , 4C204GB15 , 4J127AA00 , 4J127AA03 , 4J127AA06 , 4J127BB031 , 4J127BB032 , 4J127BB033 , 4J127BB041 , 4J127BB042 , 4J127BB082 , 4J127BB111 , 4J127BB112 , 4J127BB113 , 4J127BB131 , 4J127BB212 , 4J127BB221 , 4J127BB222 , 4J127BB223 , 4J127BC021 , 4J127BC022 , 4J127BC023 , 4J127BC031 , 4J127BC121 , 4J127BC131 , 4J127BC152 , 4J127BC153 , 4J127BD022 , 4J127BD042 , 4J127BD062 , 4J127BD171 , 4J127BD222 , 4J127BD223 , 4J127BD421 , 4J127BD451 , 4J127BE25Y , 4J127BE251 , 4J127BE34Y , 4J127BE341 , 4J127BE342 , 4J127BE343 , 4J127BF19Y , 4J127BF192 , 4J127BF24X , 4J127BF243 , 4J127BF27X , 4J127BF27Y , 4J127BF271 , 4J127BF273 , 4J127BF29Y , 4J127BF291 , 4J127BF62Y , 4J127BF621 , 4J127BG05X , 4J127BG053 , 4J127BG13Y , 4J127BG131 , 4J127BG14X , 4J127BG14Y , 4J127BG142 , 4J127BG143 , 4J127BG16X , 4J127BG16Y , 4J127BG162 , 4J127BG17Y , 4J127BG171 , 4J127BG172 , 4J127BG173 , 4J127BG27Y , 4J127BG271 , 4J127CB281 , 4J127CB371 , 4J127CC031 , 4J127CC111 , 4J127CC131 , 4J127DA43 , 4J127DA52 , 4J127DA61 , 4J127EA13 , 4J127FA18 , 4J127FA38

引用特許：

出願人引用 (2件)

国際公開第01/071428号パンフレット
感光性樹脂組成物、並びにそれを用いた感光性画像形成材料及び感光性画像形成材
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-424180 出願人：三菱化学株式会社

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