特許
J-GLOBAL ID：200903008532950933
成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大森 純一
, 折居 章
, 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-036802
公開番号（公開出願番号）：特開2008-202069
出願日： 2007年02月16日
公開日（公表日）： 2008年09月04日
要約：
【課題】フィルムの使用効率の向上が図れるステッピングロール方式の成膜装置を提供する。【解決手段】本発明に係る成膜装置(巻取式プラズマCVD装置)20は、成膜部21(21A,21B)と、巻出しローラ22と、巻取りローラ23とを備えたステッピングロール方式の成膜装置であって、成膜部21は、成膜室24と、成膜室24のフィルム導入側およびフィルム導出側に各々設けられフィルムFを挟んで開閉する一対のシール機構31A,32A(31B,32B)とを備え、これら一対のシール機構の間の距離を、成膜室24で成膜されるフィルム長の(N+2)倍(Nは自然数)とする。これにより、上記シール機構によって挟持される領域(シール領域)を除くほぼすべてのフィルム領域を成膜領域とすることが可能となり、フィルムの使用効率の向上が図れるようになる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
成膜部と、前記成膜部にフィルムを供給する巻出しローラと、前記成膜部で成膜したフィルムを巻き取る巻取りローラとを備えたステッピングロール方式の成膜装置であって、
前記成膜部は、成膜室と、前記成膜室のフィルム導入側およびフィルム導出側に各々設けられ前記フィルムを挟んで開閉する一対のシール機構とを備え、
前記一対のシール機構の間の距離は、前記成膜室で成膜されるフィルム長の(N+2)倍(Nは自然数)であることを特徴とする成膜装置。
IPC (4件)：
C23C 16/54
, C23C 16/509
, C23C 16/44
, C23C 14/56
C23C16/54
, C23C16/509
, C23C16/44 B
, C23C14/56 C
4K029AA25
, 4K029FA04
, 4K029JA10
, 4K029KA05
, 4K029KA07
, 4K030CA12
, 4K030DA03
, 4K030FA01
, 4K030FA03
, 4K030GA14
, 4K030HA04
, 4K030JA03
, 4K030KA10
