特許
J-GLOBAL ID：200903008542236686
多層膜X線反射鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 敏夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-108267
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278398
出願日： 1995年04月06日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：
【要約】【目的】 多層膜X線反射鏡に負荷される軟X線の熱による多層膜の周期長変動を制御し、所定の周期構造を維持し、X線反射ピーク波長やピーク角度のずれを引き起こさない、精度の良い多層膜X線反射鏡を提供すること、また、所定のX線反射ピーク波長やピーク角度に制御することを可能とした多層膜X線反射鏡を提供する。【構成】 重元素層と軽元素層とを交互に積層してなり、ブラッグ回折効果を有する多層膜X線反射鏡において、前記多層膜の加熱手段を設けることとした。また、この加熱手段は例えば、ランプヒータの他、多層膜X線反射鏡の基板に薄膜ヒータを成膜させて、あるいは多層膜の少なくとも一部に電流を供給することで前記多層膜を加熱することとした。
請求項（抜粋）：
ブラッグ回折効果を有する多層膜X線反射鏡において、前記多層膜の加熱手段を設けたことを特徴とする多層膜X線反射鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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