圧電アクチュエータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-141754
公開番号（公開出願番号）：特開平9-322566
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】本発明は、駆動したとき、その積層圧電素子の発生する歪みまたは応力を検出し、例えば駆動ストロークの終端に達したことを確実に把握できる圧電アクチュエータを提供することにある。【解決手段】本発明の圧電アクチュエータ33は、複数の圧電体層を積層した積層圧電素子38と、この積層圧電素子38の一部に設けられ前記積層圧電素子38の発生する歪みまたは応力を検出するフィードバック電極38cとを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

複数の圧電体層を積層した積層圧電素子と、この積層圧電素子の一部に設けられ前記積層圧電素子の発生する歪みまたは応力を検出する検出手段と、を具備したことを特徴とする圧電アクチュエータ。

引用特許：

審査官引用 (6件)

超音波リニアモータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-014522 出願人：アルプス電気株式会社
振動波モータの駆動制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-337243 出願人：キヤノン株式会社
特開昭63-056179

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