特許

J-GLOBAL ID：200903008590217910

圧電振動子とその製造方法

発明者： 白石 政良 ,  荒武 潔
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-363038
公開番号（公開出願番号）：特開2001-177373
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】 圧電振動子の特性を低下させることのない圧電振動子とその製造方法を提供する。【解決の手段】 水晶振動片11と、その基端部50に一体的に接続されて前記圧電振動片11の周囲を囲む枠状部15とを有する水晶振動板12の上下面に、励振電極16a、16bと接合膜17を同時に形成し、蓋体14a、14bの水晶振動板12と対向する面上に接合電極膜21とその上面にガラスからなる接合層22を形成し、接合膜17と接合層22を接合することにより水晶振動板12と蓋体14a、14bとを一体に接合する。

請求項（抜粋）：

圧電振動片と、その基端部に一体的に接続されて前記圧電振動片の周囲を囲む枠状部とを有する圧電振動板と、圧電振動片の上下面に形成された励振電極膜と、枠状部の上下面に形成された接合膜と、前記圧電振動板の両面側に、前記圧電振動片の振動を妨げることなく前記圧電振動片を気密封止する一対の蓋体を接合する圧電振動子において、当該圧電振動板と当該一対の蓋体が同一の熱膨張係数であり、且つ当該一対の蓋体が接合電極膜と接合層を有することを特徴とする圧電振動子。

IPC (4件)：

H03H 9/215 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/10

FI (4件)：

H03H 9/215 ,  H03H 3/02 B ,  H03H 9/02 A ,  H03H 9/10

Fターム (13件)：

5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108FF13 ,  5J108GG03 ,  5J108GG13 ,  5J108GG14 ,  5J108GG20 ,  5J108KK02 ,  5J108KK04 ,  5J108MM02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 圧電振動子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-025830   出願人：シチズン時計株式会社
• 特開昭56-044213