特許

J-GLOBAL ID：200903008592762567

テラヘルツ光検出器、テラヘルツ光検出方法およびテラヘルツイメージング装置

発明者： 津村 直希 ,  赤堀 洋道
出願人/特許権者： 株式会社栃木ニコン ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-364175
公開番号（公開出願番号）：特開2006-170822
出願日： 2004年12月16日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：

【課題】 試料からのテラヘルツ光の偏光状態を正確に検出し、測定すること。【解決手段】 テラヘルツ光発生素子10から発するテラヘルツパルス光T1は、試料Sを透過し、テラヘルツパルス光T2となってテラヘルツ光検出素子20へ入射する。テラヘルツ光検出素子20は、直交配置される一対のダイポール型アンテナ21A,21Bを有し、テラヘルツパルス光T2が直交する偏光成分を有する場合でも偏光成分毎に検出する。検出データは、制御・演算処理部9で処理され、試料Sの電気的特性や不純物濃度などの測定値を得る。また、2次元駆動機構8により試料Sを2次元的に移動させ、試料S上の各点からの測定値を合成し、2次元画像としてイメージ化する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

第1の方向に偏光したテラヘルツ光を検出する第1のアンテナと、 前記第1の方向に直交する第2の方向に偏光したテラヘルツ光を検出する、前記第1のアンテナに直交する方向に配置される第2のアンテナとを有することを特徴とするテラヘルツ光検出器。

IPC (1件)：

G01N 21/35

FI (1件)：

G01N21/35 Z

Fターム (10件)：

2G059AA01 ,  2G059AA03 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ19

引用特許：

出願人引用 (1件)

• テラヘルツ波分光器
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP2000004048   出願人：浜松ホトニクス株式会社