シリコンリボンの製造装置及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梅田勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-187068
公開番号（公開出願番号）：特開平10-029895
出願日： 1996年07月17日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：

【要約】【課題】凝固時の急冷を避け、制御された厚さを持ち、表面が平坦で且つ高純度の高速引き出し可能なシリコンリボンの製造装置及び製造方法を得ること。【解決手段】シリコンの加熱融解部と、耐熱材で構成された回転冷却体と、シリコン融液を噴流の圧力によって回転冷却体の外周面に加圧供給する機構及びシリコン融液に浸漬した囲い壁から構成されることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

シリコンの加熱融解部と、耐熱材で構成された回転冷却体と、シリコン融液を噴流の圧力によって回転冷却体の外周面に加圧供給する機構及びシリコン融液に浸漬した囲い壁から構成されることを特徴とするシリコンリボンの製造装置。

IPC (2件)：

C30B 29/06 503 , H01L 31/04

FI (2件)：

C30B 29/06 503 , H01L 31/04 X

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-275119
特開昭63-064909
特公平7-053569

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