特許
J-GLOBAL ID：200903008664282590
砥液供給装置及び砥液供給装置への添加剤補充方法及び研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-378849
公開番号（公開出願番号）：特開2002-178261
出願日： 2000年12月13日
公開日（公表日）： 2002年06月25日
要約：
【要約】【課題】 砥液中の過酸化水素水濃度を常に正確に一定になるように管理維持することができる砥液供給装置及び砥液供給装置への添加剤補充方法及び研磨装置を提供すること。【解決手段】 所定濃度の砥液を貯留する供給タンク30と、研磨対象物を研磨する研磨手段40に供給タンク30から砥液を送る砥液配管67と、所定濃度の添加剤を供給タンク30に供給する添加剤供給手段50とを具備する。供給タンク30内の添加剤濃度を測定する添加剤濃度測定手段33と、供給タンク30内の砥液の量を測定する計量手段31と、添加剤濃度測定手段33で測定した添加剤濃度と計量手段31で測定した砥液の量から補充すべき添加剤の補充量を算出して算出した量の添加剤を添加剤供給手段50によって供給タンク30に供給せしめる制御手段95とを具備する。添加剤の補充は所定の計量単位毎に行なう。
請求項（抜粋）：
所定濃度の砥液を貯留する供給タンクと、前記供給タンクへ添加剤を供給する添加剤供給手段と、前記供給タンク内の添加剤濃度を測定する添加剤濃度測定手段と、前記添加剤濃度測定手段により測定した添加剤濃度が所定値外の第一の濃度になった場合に前記添加剤供給手段から前記供給タンクへ添加剤を供給し、添加剤濃度を前記所定値内の第二の濃度にするように制御する制御手段とを具備することを特徴とする砥液供給装置。
IPC (3件)：
B24B 57/02
, B24B 37/00
, H01L 21/304 622
B24B 57/02
, B24B 37/00 K
, H01L 21/304 622 E
3C047FF08
, 3C047FF11
, 3C047GG15
, 3C047GG20
, 3C058AA07
, 3C058AC04
, 3C058CA01
, 3C058CB01
, 3C058CB03
