特許

J-GLOBAL ID：200903008678450380

アルミニウム化学蒸着コーティング方法

発明者： 中森 正治 ,  辻 一郎 ,  高橋 孝二 ,  谷村 武俊 ,  鶴 聡
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社 ,  高菱エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 坂間 暁 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-138728
公開番号（公開出願番号）：特開平5-331643
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：

【要約】【目的】 ガスタービン動・静翼の冷却孔内の良好なコーティングが可能で、人体への危険を伴わないコーティング方法を実現する。【構成】 金属Al7が設置されたAl反応容器8内にHClを供給してAlCl3 を生成し、このAlCl3 を金属Al7と被処理材2が設置されたCVD反応容器1内に導入し、CVD反応を生じさせて被処理材2の面にAlコーティング層を形成させることによって、AlCl3 の人手による直接の取扱いを不要とし、反応容器8,1中に金属Al7を設置すればよいものとしたため、作業の安全性の大幅向上を可能とするとともに、作業コストの大幅低減を可能とする。また、CVD反応容器1中におけるHClの残留を金属Al7により除去するため、被処理材2や反応容器1の損傷の防止が可能となる。

請求項（抜粋）：

金属Alが設置されたAl反応容器内にHClを供給し金属AlへHClを反応させてAlCl3 を生成させた後、このAlCl3 と未反応のHClを金属Alが設置され被処理材が配設された化学蒸着反応容器内へ導入し、化学蒸着反応を生じさせて被処理材の面にAlコーティング層を形成させることを特徴とするアルミニウム化学蒸着コーティング方法。

IPC (3件)：

C23C 16/12 ,  F01D 5/28 ,  F01D 9/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-272378
  
• アルミナイド被膜の化学蒸着
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-119382   出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ