特許
J-GLOBAL ID：200903008679902500
ウェハ冷却装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-035567
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233598
出願日： 1998年02月18日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 真空経路内に設置でき、冷却板との充分な接触面積を確保することで冷却時間の短縮を可能とするウェハ冷却装置の提供。【解決手段】 冷却装置10全体を内包する構成となるチャンバ11は、開閉可能であり高気密性を有するゲートバルブ7を隔てて外気と隔離された高気密構造で構成されている。その内部には上平面がウェハの載置が可能となる冷却板12が設置されており、さらに冷却板12内部には冷却水13を循環させる導水管14が張り巡らすように埋設され、その両端部はチャンバ11外部に設けた不図示の冷却水循環装置に接続されている。前記チャンバ11天井部中央にはガス流出管15が冷却板12の上面に向けて接続されており、一方冷却板12上面中央にはガス吸入管16が接続されている。ガス吸入によりウェハ6は冷却板12に密接に吸着され、効率のよい吸熱の後で冷却水13により装置外に放熱される。
請求項（抜粋）：
ウェハを載置することで吸熱可能となる冷却板と、該冷却板上に該ウェハを吸着させるウェハ吸着手段と、該冷却板が吸収した熱を装置外に放熱するための装置外放熱手段と、が外気と隔離した気密性空間内において構成されることを特徴とするウェハ冷却装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 P
, H01L 21/02 Z
