プラズマ発生装置及びその給電効率の最適化方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：藤谷修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-014991
公開番号（公開出願番号）：特開2006-202662
出願日： 2005年01月24日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：

【課題】大気圧プラズマの発生装置の小型化を実現すること。更には、その大気圧プラズマ発生装置に対する給電効率の最適化を容易にすること。【解決手段】セラミックスからなる高耐熱性の絶縁体4の前方開口端4aからプラズマが出射される。先端が窄んだ略円筒形の金属製の外導体2は、同軸空洞Rの外殻部を形成している。外導体2、絶縁体4、及び金属製のプラズマ材料ガス導入管1は、何れも筒状に形成されて互いに同軸となる様に配置されている。外導体2とプラズマ材料ガス導入管1とは、可変機構6付近で電気的に接続されている。プラズマ材料ガス導入管1の導入口1aはプラズマ発生装置10の最後部に配置されており、一方、プラズマ材料ガス導入管1のガス吹き出し口1bはその反対側に配置されている。このガス吹き出し口1bの更に前部には、金属製の突起部材5が配設されて、電界が集中し易くなっている。【選択図】図1-A

請求項（抜粋）：

マイクロ波を導波させる筒状の空洞を有するマイクロ波を用いたプラズマ発生装置において、前記空洞の外殻部を形成する中空の筒状の金属製の外導体と、略全体又は少なくとも一部が前記外導体の内部に配置された、前記外導体と同軸の筒状の高耐熱性の絶縁体と、一部が前記絶縁体の内部に配置され、前記外導体と導通された、前記外導体と同軸の筒状の金属製のプラズマ材料ガス導入管と、前記外導体の内部でかつ前記絶縁体の外周に配置され、前記空洞へ前記マイクロ波を放射する、前記外導体と同軸のループを有する同軸結合アンテナと、前記絶縁体の内部でかつ前記プラズマ材料ガス導入管のガス吹き出し口の前方に配置された金属製の放電アンテナとを有し、前記絶縁体の前方開口端から大気圧プラズマを放出することを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (3件)：

H05H 1/24 , B08B 7/00 , C23C 16/511

FI (3件)：

H05H1/24 , B08B7/00 , C23C16/511

Fターム (9件)：

3B116AA46 , 3B116AB51 , 3B116BB22 , 3B116BC01 , 4K030FA01 , 4K030JA09 , 4K030KA15 , 4K030KA17 , 4K030KA46

引用特許：

出願人引用 (3件)

特許第3224443号
特許第3174981号
ヘリコン波を発生することができる誘導性アンテナを内部に有するプラズマリアクター
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-505038 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド

審査官引用 (2件)

特開平4-351899
プラズマヒータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-219600 出願人：株式会社日立製作所

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