特許
J-GLOBAL ID:200903008709038938
イオン感応性電界効果トランジスタ
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-189987
公開番号(公開出願番号):特開2005-024380
出願日: 2003年07月02日
公開日(公表日): 2005年01月27日
要約:
【課題】より耐久性のあるイオン感応膜を有するイオン感応性電界効果トランジスタを提供する。【解決手段】イオン感応膜を固定する導電性基板を電界効果トランジスタと装脱着可能にし、電界効果トランジスタから切り離された状態で、導電性基板に感応膜材料を塗布し、高温焼付処理を行う。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
イオン感応性電界効果トランジスタにおいて、イオン感応膜を固定する導電性基板部分が、電界効果トランジスタのゲートに接続した導電体と装脱着可能であり、電界効果トランジスタから脱離された状態で、予め電界効果トランジスタの耐熱温度より高い温度で焼付処理されているイオン感応性電界効果トランジスタ。
IPC (1件):
FI (3件):
G01N27/30 301W
, G01N27/30 301G
, G01N27/30 301V
引用特許: