特許

J-GLOBAL ID：200903008772161464

サンドブラスト用の感光性樹脂組成物

発明者： 頼末 友裕 ,  鈴木 省三
出願人/特許権者： 旭化成エレクトロニクス株式会社
代理人 (4件)： 鳴井 義夫 ,  清水 猛 ,  伊藤 穣 ,  武井 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-063798
公開番号（公開出願番号）：特開2006-251015
出願日： 2005年03月08日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：

【課題】耐磨耗性、解像性、マスク再現性を有するサンドブラスト用レジストの提供。【解決手段】(a)ポリウレタンプレポリマーと、(b)一般式(I)X=-O(C=O)CH2CH3で表される置換基X、及び一般式(II)Y=-O(C=O)R-COOH(RはC1〜C8の鎖状もしくは環状の炭化水素基)で表される置換基Yによって水酸基が置換された無水グルコース単位からなるセルロース誘導体と、(c)下記一般式(III)で表される光重合開始剤とを、(a):45〜90質量%、(b):5〜50質量%、(c):0.01〜20質量%の割合で含むサンドブラスト用感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(a)末端に水酸基を有するポリマーまたはモノマーと、ポリイソシアネートと、活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和二重結合を分子内に共に有する化合物より得られるポリウレタンプレポリマーと、 (b)下記一般式(I)で表される置換基X、及び下記一般式(II)で表される置換基Yによって水酸基が置換された、無水グルコース単位からなるセルロース誘導体であって、該グルコース単位の置換基Xの平均置換度が1.5〜2.7、かつ置換基Yの平均置換度が0.3〜1.5であり、そして該XとYの和が2.4以上3.0以下であることを特徴とするセルロース誘導体と、 X=-O(C=O)CH2CH3 ・・・(I) Y=-O(C=O)R-COOH ・・・(II) (式中RはC1〜C8の鎖状もしくは環状の炭化水素基である。) (c)下記一般式(III)で表される光重合開始剤とを、(a):45〜90質量%、(b):5〜50質量%、(c):0.01〜20質量%の割合で含むことを特徴とするサンドブラスト用感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/032 ,  C08F 4/00 ,  C08F 299/06 ,  C08G 18/10 ,  C08G 18/67 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

G03F7/032 ,  C08F4/00 ,  C08F299/06 ,  C08G18/10 ,  C08G18/67 ,  G03F7/027 513 ,  G03F7/029 ,  H01L21/30 502R

Fターム (81件)：

2H025AA04 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC45 ,  2H025BC67 ,  2H025CA35 ,  2H025CB04 ,  2H025CB43 ,  2H025EA08 ,  2H025FA15 ,  2H025FA35 ,  2H025FA42 ,  4J015EA02 ,  4J034CA04 ,  4J034CA22 ,  4J034CB03 ,  4J034CB07 ,  4J034CC03 ,  4J034DF01 ,  4J034DF02 ,  4J034DF12 ,  4J034DF14 ,  4J034DG03 ,  4J034DG04 ,  4J034DK00 ,  4J034DP12 ,  4J034DP18 ,  4J034EA08 ,  4J034FA02 ,  4J034FB01 ,  4J034FC01 ,  4J034FD01 ,  4J034HA01 ,  4J034HA07 ,  4J034HC03 ,  4J034HC12 ,  4J034HC22 ,  4J034HC46 ,  4J034HC52 ,  4J034HC61 ,  4J034HC64 ,  4J034HC67 ,  4J034HC71 ,  4J034HC73 ,  4J034JA42 ,  4J034KA01 ,  4J034KB02 ,  4J034KC17 ,  4J034RA07 ,  4J127AA03 ,  4J127BB031 ,  4J127BB111 ,  4J127BB221 ,  4J127BC021 ,  4J127BC141 ,  4J127BD441 ,  4J127BD451 ,  4J127BD481 ,  4J127BE24Y ,  4J127BE241 ,  4J127BF16X ,  4J127BF161 ,  4J127BF36X ,  4J127BF361 ,  4J127BF62X ,  4J127BF621 ,  4J127BG04X ,  4J127BG041 ,  4J127BG18X ,  4J127BG181 ,  4J127BG27Y ,  4J127BG271 ,  4J127BG28X ,  4J127BG281 ,  4J127CA01 ,  4J127DA38 ,  4J127DA70 ,  4J127EA13 ,  4J127FA17

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特許第3167812号公報
  
• 特許第3449572号公報
  
• 感光性樹脂組成物、それを用いたサンドブラスト用感光性ドライフィルム及びそれを用いた食刻方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-107703   出願人：松下電子工業株式会社, 東京応化工業株式会社
• サンドブラスト用感光性組成物及びそれを用いた感光性フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-295016   出願人：東京応化工業株式会社
• サンドブラスト用感光性組成物及びそれを用いた感光性フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-246551   出願人：東京応化工業株式会社