特許
J-GLOBAL ID：200903076775136210
感光性樹脂組成物、それを用いたサンドブラスト用感光性ドライフィルム及びそれを用いた食刻方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
阿形 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-107703
公開番号（公開出願番号）：特開平8-305017
出願日： 1995年05月01日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【構成】 (A)末端水酸基をもつポリエーテル又はポリエステルとジイソシアネートと水酸基をもつアクリレート又はメタクリレートとから得られる末端にアクリレート又はメタクリレート基をもつウレタン化合物、(B)酸価50〜250mg/KOHのアルカリ可溶性高分子化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、この層を被処理体表面に設けホトリソグラフィーによりレジストパターンを形成させたのち、サンドブラスト処理を行うと表面を所定のパターンで食刻することができる。【効果】 良好な弾性、柔軟性及び密着性を有し、優れたアルカリ現像性を示す感光性樹脂であって、光硬化後の絶縁抵抗値が低いのでサンドブラストで食刻した場合、放電による損傷を生じることがない。
請求項（抜粋）：
(A)末端水酸基をもつポリエーテル又はポリエステルとジイソシアネートと水酸基をもつアクリレート又はメタクリレートとから得られる末端にアクリレート又はメタクリレート基をもつウレタン化合物、(B)酸価50〜250mg/KOHのアルカリ可溶性高分子化合物及び(C)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/027 513
, C08F299/06 MRW
, G03F 7/004 512
, H05K 3/04
G03F 7/027 513
, C08F299/06 MRW
, G03F 7/004 512
, H05K 3/04 D
