特許

J-GLOBAL ID：200903008783805835

走査投影露光装置

発明者： 香田 徹 ,  筒井 慎二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-093193
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264431
出願日： 1995年03月28日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】 走査方向に垂直な方向の位置の関数で表される非線形誤差成分のうちの偶関数成分を補正する。【構成】 横断面が直線形状ではないスリット形状の露光光12により、転写用パタ-ンが形成された原版11を照明する照明光学系と、これによって照明される前記転写用パターンの像を感光基板10上に所定の倍率で投影する投影光学系と、前記露光光による照明領域の長手方向に対して直角あるいは一定角度をなす走査方向に、前記原版および感光基板を前記投影倍率に応じた速度比でもって同期させて移動する移動手段とを備えた走査投影露光装置において、前記投影光学系の倍率を少なくとも走査方向について補正する倍率補正手段14,19を備え、これにより、感光基板上に露光転写された像に対して重ねて露光転写する場合の前記走査方向の結像位置ずれのうち、前記原版および感光基板間の相対位置の補正では補正が不能な成分を補正する。

請求項（抜粋）：

横断面が直線形状ではないスリット形状の露光光により、転写用パタ-ンが形成された原版を照明する照明光学系と、これによって照明される前記転写用パターンの像を感光基板上に所定の倍率で投影する投影光学系と、前記露光光による照明領域の長手方向に対して直角あるいは一定角度をなす走査方向に、前記原版および感光基板を前記投影倍率に応じた速度比でもって同期させて移動する移動手段とを備えた走査投影露光装置において、前記投影光学系の倍率を少なくとも走査方向について補正する倍率補正手段を備え、これにより、感光基板上に露光転写された像に対して重ねて露光転写する場合の前記走査方向の結像位置ずれのうち、前記原版および感光基板間の相対位置の補正では補正が不能な成分を補正することを特徴とする走査投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (4件)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 516 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-144127
  
• 特開昭59-144127
  
• 投影光学系の調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-141914   出願人：株式会社ニコン