シリコン単結晶引き上げ装置用の保温筒

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：廣江武典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-201647
公開番号（公開出願番号）：特開平10-045491
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：

【要約】【課題】真空空間内に置いたときに、炉内及び保温筒黒鉛基材内部の気体の排出を短時間に行うことができ、しかも、黒鉛基材からの細片剥離を防止することができて、耐久性が高く安価な保温筒を提供すること。【解決手段】シリコン単結晶引き上げ装置100内のルツボ10を加熱するヒータ20とこのヒータ20からの熱が外部へ移動しないようにするための断熱材40との間に配置されて、当該シリコン単結晶引き上げ装置100内の保温を行なう保温筒30であって、この保温筒30の上部及び内側面全体を熱分解炭素からなる被膜で被覆してなること。

請求項（抜粋）：

シリコン単結晶引き上げ装置内のルツボを加熱するヒータと、このヒータからの熱が外部へ移動しないようにするための断熱材との間に配置されて、当該シリコン単結晶引き上げ装置内の保温を行なう保温筒であって、この保温筒の上部及び内側面全体を熱分解炭素からなる被膜で被覆してなることを特徴とするシリコン単結晶引き上げ装置用の保温筒。

IPC (3件)：

C30B 29/06 502 , C30B 15/00 , H01L 21/208

FI (3件)：

C30B 29/06 502 C , C30B 15/00 Z , H01L 21/208 P

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-236798
特開平2-229785
単結晶引き上げ装置用カーボン製部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-005883 出願人：住友金属工業株式会社

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