特許
J-GLOBAL ID：200903008809786192

電子ビーム生成装置及び電子ビーム露光装置

発明者：
大饗 義久

大饗 義久 について

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清水 陽一

清水 陽一 について

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佐藤 高雅

佐藤 高雅 について

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原口 岳士

原口 岳士 について


出願人/特許権者：
株式会社アドバンテスト

株式会社アドバンテスト について


代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-360067
公開番号（公開出願番号）：特開2002-164009
出願日： 2000年11月27日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：
【要約】【課題】 半導体素子等の生産速度を向上させる。【解決手段】 電子ビームを生成する電子ビーム生成装置であって、熱電子を発生させる複数のカソードと、カソードに負電圧を印加し、カソードから熱電子を放出させるカソード電源部と、複数のカソードのそれぞれに対応し、複数のカソードのそれぞれから放出された熱電子をそれぞれ集束させ、複数の電子ビームを形成する複数のグリッドと、複数のカソード及び複数のグリッドが設けられた碍子とを備える。
請求項（抜粋）：
複数の電子ビームを生成する電子ビーム生成装置であって、熱電子を発生させる複数のカソードと、前記カソードに負電圧を印加し、前記カソードから前記熱電子を放出させるカソード電源部と、前記複数のカソードのそれぞれに対応し、前記複数のカソードのそれぞれから放出された前記熱電子をそれぞれ集束させ、前記複数の電子ビームを形成する複数のグリッドと、前記複数のカソード及び前記複数のグリッドが設けられた碍子とを備えることを特徴とする電子ビーム生成装置。
IPC (5件)：
H01J 37/065 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/06 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
H01J 37/065 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/06 Z ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 B ,  H01L 21/30 541 W
Fターム (11件)：
2H097BA02 ,  2H097BB03 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5C030BB02 ,  5C034BB01 ,  5F056AA04 ,  5F056AA33 ,  5F056CB02 ,  5F056CB03 ,  5F056EA02
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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