特許
J-GLOBAL ID:200903008824500955

共焦点顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡辺 正康 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-072623
公開番号(公開出願番号):特開平8-271225
出願日: 1995年03月30日
公開日(公表日): 1996年10月18日
要約:
【要約】【目的】高速共焦点画像を2つに分岐し、一方では2次元高速画像が得られ、他方では多画素の1次元CCDを用いることにより高速高精度にライン状の測長ができるニポウディスク型の共焦点顕微鏡を実現する。【構成】複数の微小開口部が設けられた基板と、この基板を高速回転させる手段を持つニポウディスク型の共焦点顕微鏡において、共焦点画像を2つ以上に分岐する分岐手段と、この分岐手段により分岐された光路にそれぞれ配置され、共焦点画像の2次元画像を検出する2次元の多画素素子を持つ2次元カメラと、共焦点画像の1次元画像を検出する少なくとも1本の1次元多画素素子を持つ1次元カメラを備える。
請求項(抜粋):
複数の微小開口部が設けられた基板と、この基板を高速回転させる手段を持つニポウディスク型の共焦点顕微鏡において、共焦点画像を2つ以上に分岐する分岐手段と、この分岐手段により分岐された光路にそれぞれ配置され、共焦点画像の2次元画像を検出する2次元の多画素素子を持つ2次元カメラと、共焦点画像の1次元画像を検出する少なくとも1本の1次元多画素素子を持つ1次元カメラを具備したことを特徴とする共焦点顕微鏡。
IPC (2件):
G01B 11/00 ,  G01B 9/04
FI (2件):
G01B 11/00 Z ,  G01B 9/04
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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