特許

J-GLOBAL ID：200903008827503491

弾性表面波素子電極

発明者： 太田 康博 ,  湯原 章綱
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-006311
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199976
出願日： 1996年01月18日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】電極膜の耐久性および耐電力性が高く、しかも比抵抗の小さい、特性良好で長寿命な弾性表面波素子電極を提供する。【解決手段】圧電性基板上に形成した単層電極または多層電極で、電極を構成する少なくとも一層の金属膜の平均組成をCuxMy(x,yはwt%表示で、MをZn,Ni,Sn,Al,Mg,Be,Co,P,Cr,Zr,Si,Ti,Ce,Pdの中から選ばれた少なくとも一つの金属を表し、0<y≦20,x+y=100)にすること、及び、電極の表面側または側面側の少なくとも一方に形成する。

請求項（抜粋）：

圧電性基板上に金属薄膜よりなる単層電極を形成して成る弾性表面波素子電極において、前記単層電極を構成する前記金属薄膜の膜厚方向の平均組成が、CuxMyなる合金(Cuをx重量%、金属Mをy重量%含む合金)で表せることを特徴とする弾性表面波素子電極。(但し、金属MはZn,Ni,Sn,Al,Mg,Be,Co,P,Cr,Zr,Si,Ti,Ce,Pdの中から選ばれた少なくとも一つの金属を表し、かつ、0<y≦20,x+y=100なる条件を満たすものとする)

IPC (5件)：

H03H 9/145 ,  C22C 9/00 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 41/09 ,  H03H 9/25

FI (6件)：

H03H 9/145 Z ,  H03H 9/145 C ,  C22C 9/00 ,  H01L 21/28 301 Z ,  H03H 9/25 Z ,  H01L 41/08 L

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 弾性表面波デバイスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-252289   出願人：株式会社東芝