特許
J-GLOBAL ID：200903008865952305
真空圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
多田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-188460
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019044
出願日： 1998年07月03日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 低〜高真空での圧力を高精度で検出するとともに、製作を容易とし、長期の安定動作を確保する。【解決手段】 測定ガス室39に導かれた測定ガス圧と真空室35内の高真空とのバランスによってダイヤフラム29が変形したとき、一側、他側導電電極47、48間の静電容量を測定して前記測定ガスの絶対圧力を測定する。このとき、一側、他側導電電極47、48を真空室35ではなく、測定ガス室39に設けたので、低〜高真空での静電容量変化量が大となり、これにより、該圧力での検出感度を高くすることができる。
請求項（抜粋）：
変形容易な薄肉ダイヤフラムを有する隔壁により、内部に形成された室が高真空の真空室と測定ガスが導かれる測定ガス室とに区画されているケースと、測定ガス室に面したダイヤフラムの表面に設けられた一側導電電極と、一側導電電極に対向する測定ガス室の内面に設けられた他側導電電極とを備え、測定ガス室に導かれた測定ガスの圧力によってダイヤフラムが変形したときに一側、他側導電電極間の静電容量を測定することにより、測定ガスの圧力を検出するようにしたことを特徴とする真空圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
2F055AA31
, 2F055BB01
, 2F055BB08
, 2F055CC02
, 2F055DD01
, 2F055EE25
, 2F055FF07
, 2F055FF38
, 2F055FF43
, 2F055GG11
