特許
J-GLOBAL ID:200903008868746226

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (8件): 三好 秀和 ,  三好 保男 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  栗原 彰 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-352057
公開番号(公開出願番号):特開2004-078245
出願日: 2003年10月10日
公開日(公表日): 2004年03月11日
要約:
【課題】 高解像度、高アスペクト比であるレジストパターンを形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤および(E)ロイコ染料を含有し、前記(E)成分の配合量が前記(A)成分および(B)成分の総量100重量部に対し0.3〜0.6重量部であるようにする。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤および(E)ロイコ染料を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(E)成分の配合量が前記(A)成分および(B)成分の総量100重量部に対し0.3〜0.6重量部である感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F7/004 ,  C08F2/44 ,  G03F7/027
FI (5件):
G03F7/004 503Z ,  G03F7/004 502 ,  G03F7/004 512 ,  C08F2/44 B ,  G03F7/027 502
Fターム (22件):
2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC42 ,  2H025BC81 ,  2H025CA14 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA44 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CB52 ,  2H025CC01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4J011AA05 ,  4J011PA33 ,  4J011PB25 ,  4J011PC02
引用特許:
出願人引用 (6件)
  • 独国特許第2027467号明細書
  • 欧州特許出願公開第11786号明細書
  • 欧州特許出願公開第220号明細書
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