特許
J-GLOBAL ID:200903008868746226
感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (8件):
三好 秀和
, 三好 保男
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 栗原 彰
, 川又 澄雄
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-352057
公開番号(公開出願番号):特開2004-078245
出願日: 2003年10月10日
公開日(公表日): 2004年03月11日
要約:
【課題】 高解像度、高アスペクト比であるレジストパターンを形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤および(E)ロイコ染料を含有し、前記(E)成分の配合量が前記(A)成分および(B)成分の総量100重量部に対し0.3〜0.6重量部であるようにする。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤および(E)ロイコ染料を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(E)成分の配合量が前記(A)成分および(B)成分の総量100重量部に対し0.3〜0.6重量部である感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F7/004
, C08F2/44
, G03F7/027
FI (5件):
G03F7/004 503Z
, G03F7/004 502
, G03F7/004 512
, C08F2/44 B
, G03F7/027 502
Fターム (22件):
2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC42
, 2H025BC81
, 2H025CA14
, 2H025CA27
, 2H025CA28
, 2H025CA44
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB43
, 2H025CB52
, 2H025CC01
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 4J011AA05
, 4J011PA33
, 4J011PB25
, 4J011PC02
引用特許:
出願人引用 (6件)
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独国特許第2027467号明細書
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欧州特許出願公開第11786号明細書
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欧州特許出願公開第220号明細書
-
欧州特許出願公開第589号明細書
-
プリント配線板の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-245476
出願人:日本合成化学工業株式会社
-
米国特許第3479185号明細書
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