特許
J-GLOBAL ID：200903008874565926
Ni-Al系金属間化合物ターゲットおよびその製造方法ならびに磁気記録媒体
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-120038
公開番号（公開出願番号）：特開平11-106905
出願日： 1998年04月14日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：
【要約】【課題】 NiとAlとのB2構造ターゲットであって、NiとAlを主体とし、高抗折力の金属間化合物ターゲットおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明は、NiとAlを主成分とし、実質的にB2構造を有する金属間化合物焼結体でなるターゲットである。本発明のターゲットは、相対密度を99%以上、平均結晶粒径を200μm以下、より好ましくは30μm以下とすることが望ましい。さらに、酸素を300〜5000ppm、より好ましくは1000〜4000ppmとすることにより、薄膜の結晶粒を微細化する効果が期待される。
請求項（抜粋）：
NiとAlを主成分とし、実質的にB2構造を有する金属間化合物焼結体でなることを特徴とするNi-Al系金属間化合物ターゲット。
IPC (4件)：
C23C 14/34
, C22C 1/00
, C22C 1/04
, G11B 5/66
C23C 14/34 A
, C22C 1/00 Q
, C22C 1/04 B
, G11B 5/66
