特許
J-GLOBAL ID：200903008883573583

インプリント装置およびインプリント方法

発明者：
末平 信人

末平 信人 について

, 
関 淳一

関 淳一 について

, 
真島 正男

真島 正男 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-213637
公開番号（公開出願番号）：特開2007-073939
出願日： 2006年08月04日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：
【課題】本発明は、インプリント精度の向上を図るインプリント装置等を提供する。【解決手段】本発明に係るインプリント装置は、モールドに形成されたパターンを基板上に形成された樹脂にインプリントするインプリント装置である。このインプリント装置は、樹脂を硬化させるために光を照射させる光源、前記光源からの光照射によって生じる前記樹脂の状態を反映した物理量を計測するための計測手段を有する。そして、前記計測手段から得られた情報に基づいて、前記モールドと前記基板の空間的位置関係、あるいは、前記光源からの光量を制御するための制御手段を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
モールドに形成されたパターンを基板上に形成された樹脂にインプリントするインプリント装置であって、 樹脂を硬化させるための光を照射する光源、 前記光源からの光照射によって生じる前記樹脂の状態を反映した物理量を計測するための計測手段、 前記計測手段から得られた情報に基づいて、前記モールドと前記基板の空間的位置関係、あるいは、前記光源からの光量を制御するための制御手段を有することを特徴とするインプリント装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  B81C 5/00
FI (2件)：
H01L21/30 502D ,  B81C5/00
Fターム (3件)：
5F046AA25 ,  5F046AA28 ,  5F046BA10
引用特許：
審査官引用 (4件)
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