特許

J-GLOBAL ID：200903008897439111

ガスセンサ及びその製造方法

発明者： 柿元 志郎 ,  西山 寛幸 ,  今枝 功一 ,  井上 隆治 ,  横井 等 ,  石田 昇
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 足立 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-123866
公開番号（公開出願番号）：特開2004-325388
出願日： 2003年04月28日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】感応層が基板に十分に密着しており、例えば排ガス雰囲気中などの過酷な環境で使用した場合でも、感応層が剥離することがなく、好適に実使用に耐えうるガスセンサを提供すること。【解決手段】アンモニアセンサ(1)には、セラミックからなる絶縁基板(5)上に、一対の櫛歯電極(11)、(13)が形成され、この櫛歯電極(11)、(13)上に、感応層(15)が設けられている。感応層(15)は、多孔質セラミックのジルコニアからなる支持体(16)の表面に、固体超強酸物質であるWO3/ZrO2の複合酸化物からなるガス感応体が形成されたものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

検知用の電極と該電極に接触して設けられた感応層とを有する素子部を、セラミックからなる基板上に形成したガスセンサにおいて、 前記感応層が、多孔質セラミックからなる支持体と、該支持体の表面に形成されたガス感度を有するガス感応体と、を備えたことを特徴とするガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N27/12 ,  G01N27/04

FI (6件)：

G01N27/12 B ,  G01N27/12 C ,  G01N27/12 G ,  G01N27/12 J ,  G01N27/12 P ,  G01N27/04 E

Fターム (65件)：

2G046AA09 ,  2G046AA10 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC03 ,  2G046BC05 ,  2G046BC09 ,  2G046BE03 ,  2G046BE08 ,  2G046BF01 ,  2G046BF02 ,  2G046BJ02 ,  2G046CA09 ,  2G046DA03 ,  2G046DB05 ,  2G046DC14 ,  2G046DD02 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA08 ,  2G046EA09 ,  2G046EA12 ,  2G046EA18 ,  2G046EB01 ,  2G046EB07 ,  2G046FB02 ,  2G046FE03 ,  2G046FE12 ,  2G046FE14 ,  2G046FE22 ,  2G046FE38 ,  2G046FE39 ,  2G046FE44 ,  2G046FE49 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AB07 ,  2G060AE19 ,  2G060AF03 ,  2G060AF06 ,  2G060AF07 ,  2G060AG10 ,  2G060AG11 ,  2G060AG15 ,  2G060BA01 ,  2G060BA09 ,  2G060BB02 ,  2G060BB04 ,  2G060BB09 ,  2G060BD02 ,  2G060HA02 ,  2G060HB06 ,  2G060HC07 ,  2G060HC09 ,  2G060HC10 ,  2G060HC18 ,  2G060HD03 ,  2G060HE03 ,  2G060JA01 ,  2G060JA02 ,  2G060JA10 ,  2G060KA01 ,  2G060KA04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 湿度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-341117   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平4-029049