特許
J-GLOBAL ID：200903008899323641

エッチング液及びこれを用いた液晶表示装置の製造方法

発明者：
朴 弘 植

朴 弘 植 について

, 
金 時 烈

金 時 烈 について

, 
鄭 鍾 鉉

鄭 鍾 鉉 について

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申 原 碩

申 原 碩 について


出願人/特許権者：
三星電子株式会社

三星電子株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-175729
公開番号（公開出願番号）：特開2007-027708
出願日： 2006年06月26日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：
【課題】透明導電性酸化膜用エッチング液を提供すること。透明導電性酸化膜の種類によって適用の制限が少ないエッチング液を提供すること。透明導電性酸化膜のエッチング性能を向上するエッチング液を提供すること。透明導電性酸化膜の下部に位置した膜に対する損傷が少ないエッチング液を提供すること。透明導電性酸化膜用エッチング液を用いた液晶表示装置の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明によると、透明導電性酸化膜のパターニングに用いられるエッチング液及びこれを用いた液晶表示装置の製造方法を提供される。透明導電性酸化膜用エッチング液は、硫酸2ないし15重量%、アルカリ金属硫酸水素塩0.02ないし10重量%及び超純水を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
硫酸2ないし15重量%と、 アルカリ金属硫酸水素塩0.02ないし10重量%と、 超純水とを含むことを特徴とする透明導電性酸化膜用エッチング液。
IPC (5件)：
H01L 21/306 ,  C23F 1/30 ,  H01L 21/321 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786
FI (4件)：
H01L21/306 F ,  C23F1/30 ,  H01L21/88 C ,  H01L29/78 612D
Fターム (73件)：
4K057WA02 ,  4K057WA18 ,  4K057WB11 ,  4K057WE02 ,  4K057WE03 ,  4K057WE04 ,  4K057WE12 ,  4K057WE25 ,  4K057WG01 ,  4K057WG02 ,  4K057WN02 ,  5F033HH05 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033HH25 ,  5F033HH35 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ35 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK08 ,  5F033KK09 ,  5F033KK17 ,  5F033KK18 ,  5F033KK20 ,  5F033KK21 ,  5F033KK25 ,  5F033LL01 ,  5F033MM05 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ20 ,  5F033RR06 ,  5F033SS11 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033WW00 ,  5F033WW03 ,  5F033WW04 ,  5F033XX00 ,  5F043AA21 ,  5F043BB14 ,  5F043GG04 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110FF03 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG44 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK05 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK22 ,  5F110HK34 ,  5F110NN02 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ05 ,  5F110QQ09
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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