エンコーダ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：江崎光史 , 奥村義道 , 鍛冶澤實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-233660
公開番号（公開出願番号）：特開2008-070363
出願日： 2007年09月10日
公開日（公表日）： 2008年03月27日
要約：

【課題】偏光要素を使用することなしに、走査信号の生成を可能とする光学エンコーダ。【解決手段】エンコーダは、反射スケール本体20およひ走査ユニット10を有する。光源11によって放射されたビーム束は、コリメータ光学系12によって平行なビーム束に変換され、回折されないで走査板13の支持基板13.1を通過し、反射スケール22に入射する。走査ユニット10は、入射ビーム束がスケール22で二回反射されてから検出要素16.1、16.2、16.3で検出されるように、走査格子14.3、14.4、14.5および反射要素15.1、15.2は、支持基板基板13.1に形成される。【選択図】図1b

請求項（抜粋）：

走査ユニットとこの走査ユニットに対して少なくとも1つの測定方向(x)に移動する反射スケール本体との相対位置を検出するエンコーダにあって、この場合、走査ユニットは、多数の光学要素、すなわち少なくとも1つの逆反射要素,少なくとも1つの結合格子,少なくとも1つの走査格子及び多数の検出要素を有し、この場合、走査ユニット内の光学要素は、 -走査ビーム路のビーム束及び/又は部分ビーム束が、反射スケール本体に少なくとも2回照射し、この場合、一方では入射するビーム束及び/又は部分ビーム束によって、他方では反射する部分ビーム束によって、反射スケール本体の平面に対して垂直にある平面がその都度形成されること、 -逆反射要素上に入射した部分ビーム束が、この逆反射要素によって測定方向(x)に対して垂直に反射スケール本体に向かって回折すること、及び -一対の部分ビーム束が、結合格子上に非平行に照射し、この結合格子は、この結合格子上に入射した部分ビーム束を干渉させ、その結果、検出要素が、移相している信号を検出するように配置されているエンコーダ。

IPC (1件)：

G01D 5/38

FI (1件)：

G01D5/38 A

Fターム (8件)：

2F103CA04 , 2F103DA12 , 2F103EA01 , 2F103EA15 , 2F103EA17 , 2F103EB32 , 2F103EC01 , 2F103FA07

引用特許：

出願人引用 (8件)

国際特許出願公開02/23131号明細書
ヨーロッパ特許出願公開第0 387 520 号明細書
ドイツ連邦共和国特許出願公開第42 01 511 号明細書

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審査官引用 (2件)

位置測定装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-527731 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
変位検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-373411 出願人：株式会社ミツトヨ

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