特許
J-GLOBAL ID：200903042939500510
変位検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
木下 實三
, 中山 寛二
, 石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-373411
公開番号（公開出願番号）：特開2006-177876
出願日： 2004年12月24日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：
【課題】 スケールと検出ヘッド部との相対姿勢変動に対してロバスト性を有し、高分解能で、かつ、安定した変位検出が可能な変位検出装置を提供する。【解決手段】 光源140と、光源140からの光を二光束に分波するビームスプリッタ170と、ビームスプリッタ170からの二光束のそれぞれに対して設けられ、これら二光束を反射してスケール110に入射光として入射させる反射ミラー181、182と、スケール110に入射した二光束が回折格子111で回折されて生じる回折光のそれぞれに設けられ、回折光を再帰反射してスケール110に再帰光として入射させるコーナーキューブ191、192と、を備える。入射光および再帰光は回折格子溝に対して垂直な方向から入射され、かつ、入射光とスケールの法線ベクトルとのなす角αは、再帰光とスケールの法線ベクトルとのなす角βよりも大きい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
回折格子を有するスケールと、前記スケールに対して相対移動可能に設けられ前記スケールに向けて可干渉光を発射するとともに前記スケールからの回折光を受光する検出ヘッド部と、を具備し、
前記検出ヘッド部は、
可干渉光を発射する光源と、
前記光源からの光を二光束に分波する分波手段と、
前記分波手段からの二光束のそれぞれに対して設けられ、前記分波手段からの光束を反射して前記スケールに入射光として入射させる光学素子と、
前記スケールに入射した二光束が前記回折格子で回折されて生じる回折光のそれぞれに設けられ、前記回折光を再帰反射して前記スケールに再帰光として入射させる再帰反射手段と、を備え、
前記入射光および前記再帰光は回折格子溝に対して垂直な方向から入射され、かつ、前記入射光と前記スケールの法線ベクトルとのなす角は、前記再帰光と前記スケールの法線ベクトルとのなす角よりも大きい
ことを特徴とする変位検出装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2F103BA17
, 2F103BA37
, 2F103CA04
, 2F103EA01
, 2F103EA19
, 2F103EB12
, 2F103EB16
, 2F103EB32
, 2F103EC01
, 2F103EC11
, 2F103EC13
, 2F103EC14
, 2F103EC15
