特許
J-GLOBAL ID：200903008922920512
窒化アルミニウム焼結体及びその用途
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-114528
公開番号（公開出願番号）：特開平10-310475
出願日： 1997年05月02日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】ヒートサイクルに対する耐久性の大なる大電力モジュール基板の製造に好適な、表面平滑性が高くしかも曲げ強度の高い窒化アルミニウム焼結体を量産良く製造すること。【解決手段】イットリウム化合物を含有する窒化アルミニウム焼結体において、X線回折で確認されるイットリウム化合物のピーク強度比が、 0.01≦ Y3Al5O12(400 面) /AlN(101 面) ≦0.06 0.03≦ YAlO3(121 面) /AlN(101 面) ≦0.10であり、しかも触針式粗さ計で測定した平均表面粗さRaが0.6μm以下で、曲げ強度が40kg/mm2 以上であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。この窒化アルミニウム焼結体を基板として用い、その表面に金属回路を形成させた回路基板。
請求項（抜粋）：
イットリウム化合物を含有する窒化アルミニウム焼結体において、X線回折で確認されるイットリウム化合物のピーク強度比が、 0.01≦ Y3Al5O12(400 面) /AlN(101 面) ≦0.06 0.03≦ YAlO3(121 面) /AlN(101 面) ≦0.10であり、しかも触針式粗さ計で測定した平均表面粗さRaが0.6μm以下で、曲げ強度が40kg/mm2 以上であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
IPC (2件)：
C04B 35/581
, H05K 1/03 610
C04B 35/58 104 D
, H05K 1/03 610 E
