特許

J-GLOBAL ID：200903008923567310

エネルギフィルタ、透過型電子顕微鏡及びエネルギを濾波するための方法

発明者： ジュフリー,ベルナール ,  スーシュ,セシル
出願人/特許権者： サントル・ナショナル・ドゥ・ラ・ルシェルシュ・シャンティフィック
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-513302
公開番号（公開出願番号）：特表2001-508584
出願日： 1997年09月03日
公開日（公表日）： 2001年06月26日
要約：

【要約】本発明は、光軸(5)に沿って方向決めされた電子ビーム(72)を受け取るエネルギフィルタに関するものである。該フィルタは、光軸(5)を含まない分散面内にて受け取ったビーム(72)を偏向させる偏向装置(30)と分散面に入り込んだ光路(80)の上で偏向装置により送られ且つ偏向装置に戻るビームを案内する分散装置(40)とを備えている。該偏向装置は、光軸と整合した状態にて、分散装置から入射するビームを戻す。該偏向装置は、出て行くビームであるか又は入射するビームであるかを問わずに、ビームを逆方向に偏向させることを確実にする単一の要素から成っている。本発明は、透過型電子顕微鏡にとって有用である。

請求項（抜粋）：

作動中、光軸(5)に沿って伝播方向に方向決めされた電子ビーム(70)を受け取るエネルギフィルタ(20)であって、 光軸(5)を含まない分散面(23)内にて、光軸(5)に沿って受け取ったビーム(72)を偏向させる偏向装置(30)と、 分散面(23)内に入り込んだ光路(80)の上で偏向装置(30)から送られ且つ偏向装置(30)に戻るビーム(70)を案内する分散装置(40)であって、そのエネルギに関係するビーム(73)の電子を空間的に分散させる分散装置(40)とを備え、 これにより、偏向装置(30)が、分散装置(40)から出てくるビーム(70)を、伝播方向において光軸(5)と整合した状態に戻すようにした、エネルギフィルタにおいて、 偏向装置(30)が、出て来るビームであるか又は入射するビームであるかどうかを問わずに、ビーム(70)の反対方向への偏向を確実にする単一の偏向要素を備えることを特徴とする、エネルギフィルタ。

IPC (2件)：

H01J 37/05 ,  H01J 49/44

FI (2件)：

H01J 37/05 ,  H01J 49/44

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 電子ビーム装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-309612   出願人：エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン
• 特開昭63-096854
  
• 特公昭48-035857
  

審査官引用 (3件)

• 電子ビーム装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-309612   出願人：エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン
• 特開昭63-096854
  
• 特公昭48-035857