検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-251696
公開番号（公開出願番号）：特開2001-076379
出願日： 1999年09月06日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】光ディスク装置において、対物レンズに入射するレーザー光の特性を、短時間で正確に検査可能な検査装置を提供する。【解決手段】この発明の検査装置1は、測定対象であるレーザービームを2つのレーザービームに分離するハーフミラービームスプリッタ3、ビームスプリッタにより反射されたレーザービームに第1の集束性を与える第1レンズ5、ビームスプリッタを通過したレーザービームをビームスプリッタにより反射されたレーザービームと概ね平行な方向に反射するミラー7、ミラーにより反射されたレーザービームに第1レンズとは異なる第2の集束性を与える第2レンズ9、および第2レンズと第1レンズのそれぞれの焦点距離の中点に位置されたCCDカメラ11からなる。

請求項（抜粋）：

被測定光ビームを概ね等しい光強度の2つの光ビームに分割する分離手段と、この分離手段により分離された一方の光ビームに所定の集束性を与える第1のレンズと、前記分離手段により分離された残りの光ビームに所定の集束性を与える第2のレンズと、この第2のレンズおよび前記第1のレンズのそれぞれにより前記2つの光ビームが集束される位置と関連のある位置に設けられ、前記2つの光ビームのビームスポットの映像を取り込む撮像手段と、を有することを特徴とする検査装置。

Fターム (9件)：

5D119AA38 , 5D119BA01 , 5D119DA20 , 5D119EC38 , 5D119FA05 , 5D119JA02 , 5D119JA43 , 5D119KA03 , 5D119KA07

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平3-152718
特開昭59-083116
特開昭60-133417

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審査官引用 (5件)

特開平3-152718
特開昭59-083116
特開昭60-133417

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