平行光調整装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：樺山亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-169932
公開番号（公開出願番号）：特開平9-021981
出願日： 1995年07月05日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【課題】構成が簡便で測定精度が高く非点収差の少ないコリメート光の調整がしやすい平行光調整装置を実現する。【解決手段】本発明の平行光調整装置は、ビーム整形機能を持った光学系aから平面ミラー10により取り出した可干渉な光束を2方向へ分離するビームスプリッタ11と、分離した一方の光束を元来た方向へ反射する平面ミラー12あるいはコーナキューブプリズム15と、他方の光束の上下を反転させて元来た方向へ反射する屋根型プリズム13と、前記ビームスプリッタ11により再び重なりあった2つの光束の干渉縞を観察するモニター14とを備えたことを特徴としており、モニター14を観察しながら干渉縞が無くなるように半導体レーザ1とコリメータレンズ2の間隔調整を行なうことにより光束の非点収差を無くすことができ、短時間にコリメート光の調整ができる。

請求項（抜粋）：

ビーム整形機能を持った光学系から到来する可干渉な光束を2方向へ分離するビームスプリッタと、分離した一方の光束を元来た方向へ反射する平面ミラーと、他方の光束の上下を反転させて元来た方向へ反射する屋根型プリズムと、前記ビームスプリッタにより再び重なりあった2つの光束の干渉縞を観察するモニターとを備えたことを特徴とする平行光調整装置。

IPC (5件)：

G02B 27/30 , G02B 7/00 , G11B 7/08 , G11B 7/135 , G11B 7/22

FI (5件)：

G02B 27/30 , G02B 7/00 D , G11B 7/08 A , G11B 7/135 Z , G11B 7/22

引用特許：

審査官引用 (6件)

対物レンズ傾き検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-066009 出願人：旭光学工業株式会社
特開平3-130638
特開平4-269603

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