特許

J-GLOBAL ID：200903008939462526

基板搬送方法、基板搬送装置及び処理システム

発明者： 広木 勤
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金本 哲男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-032927
公開番号（公開出願番号）：特開平9-205127
出願日： 1996年01月26日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】 基板処理における搬送系での時間短縮を実現して、スループットを向上させる。【解決手段】 カセット42内へ処理済みの基板P1を収納して、未処理の基板P6を取り出す場合、基板P6を支持した搬送アーム21の下フォーク26をカセット42に対して相対的に下降させる(矢印G)と同時に、上フォーク25を基板P6の下からカセット42に対して相対的に上昇させる(矢印F)。搬送アーム21による処理済みの基板P1と未処理の基板P6との入れ替え動作が同時に行え、その分搬送系における時間が短縮できる。

請求項（抜粋）：

複数の基板を載置部に載置して上下に整列して収納可能な収納体内に処理済み基板を収納させ、該収納体内に収納されている未処理基板を収納体から取り出すプロセスを有する基板の搬送方法であって、前記整列状態にある基板相互間に進入、退避自在な第1の基板支持部と第2の基板支持部を用い、第2の基板支持部で処理済み基板を支持した状態で第1、第2の基板支持部を収納体内に進入させ、第1の基板支持部を収納体に対して相対的に上昇させると同時に第2の基板支持部を収納体に対して相対的に下降させ、収納体内の載置部に載置されている未処理基板を第1の基板支持部で支持させると共に、処理済み基板を収納体内の他の載置部に載置させ、その後第1、第2の基板支持部を収納体内から退避させることを特徴とする、基板搬送方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G02F 1/1333 500 ,  B65G 1/00 547

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  G02F 1/1333 500 ,  B65G 1/00 547 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 板状体搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-271308   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
• 基板交換方法および基板交換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-151160   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 特開平4-167539