特許

J-GLOBAL ID：200903040010901810

板状体搬送装置

発明者： 石井 勝美 ,  菊地 寿
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン東北株式会社
代理人 (1件)： 井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-271308
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106403
出願日： 1993年10月04日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】 装置の大型化やピッチ誤差を招くことなく無段階のピッチ変換を行なえる構造を備えた板状体搬送装置を提供すること。【構成】 基準位置から等距離の高さ位置に配置される一対のアーム42、44、46、48と、一対のアーム42、44、46、48が軸方向に沿って相反する方向に移動可能に支持され、かつ、基準位置からの高さが異なる位置に上記一対のアーム42、44、46、48を配置されている複数組の支持部材94、96と、を備え、上記一対のアーム同士42、44、46、48が基準位置からの高さを異ならせた状態で各支持部材94、96上で移動するようになっている。このため、単一軸上に複数のリード部を形成する場合に比べて軸長を短くすることができるので、装置の高さ方向での大きさを小さくすることができる。

請求項（抜粋）：

基準位置から等距離の高さ位置に配置される一対のアームが複数組設けられ、これら各組のアームが軸方向に沿って相反する方向に移動可能に支持されている摺動案内部材を備えた板上体搬送装置において、上記摺動案内部材は、上記複数組のアーム同士を等ピッチにて摺動案内することを特徴とする板状体搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-167538
  
• 特開平4-167539
  
• 特開平4-030552
  
• 基板移載装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-073357   出願人：大日本スクリーン製造株式会社