特許
J-GLOBAL ID：200903008948729420
透明導電膜およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-236636
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094024
出願日： 1993年09月22日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【構成】基体1上に形成される酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜2であり、該透明導電膜2は、膜中に重水素を含有していることを特徴とする透明導電膜2およびその製造方法。【効果】低抵抗でありかつ表面形状のコントロールが可能であるため、太陽電池基板における表面凹凸の調整が可能になるとともに、全く平滑な膜も容易に得られるため従来困難であった表示素子や熱線遮断膜への応用も可能になる。
請求項（抜粋）：
基体上に形成される酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜であり、該透明導電膜は、膜中に重水素を含有していることを特徴とする透明導電膜。
IPC (5件)：
H01B 5/14
, C01G 9/02
, C23C 16/40
, C30B 25/02
, H01B 13/00 503
