特許
J-GLOBAL ID：200903009006583221
分光分析機構を有する原子間力顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-215007
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051945
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、原子間力顕微鏡に関し、特にポリマー、塗膜等の微小表面に存在する特異部位を構成する官能基の同定を可能とする原子間力顕微鏡を提供する。【解決手段】 材料の特異部位を構成する官能基等を同定するための原子間力顕微鏡であって、前記原子間力顕微鏡の探針先端は、入射される光線の波長より小さく形成された孔を有するとともに、前記孔に赤外線を入射させることによりエバネッセント光を発生させる機構を有することを特徴とし、探針先端はエバネッセント光放出孔とともに、被検出物質から反射されたエバネッセント光を採り入れるエバネッセント光採り入れ孔を有することを特徴とし、また赤外線の代わりに可視光レーザーを用い、さらに赤外線または可視光レーザは探針位置制御用光線を兼ねることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
材料の特異部位を構成する官能基等を同定するための原子間力顕微鏡であって、該原子間力顕微鏡の探針先端は、入射される光線の波長より小さく形成された孔を有するとともに、該孔に赤外線を入射させることによりエバネッセント光を発生させる機構を有することを特徴とする分光分析機構を有する原子間力顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 11/30
, G01B 21/30
, G01N 21/27
G01N 37/00 F
, G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
, G01B 21/30 Z
, G01N 21/27 C
