特許
J-GLOBAL ID：200903084252299925
液中観察機能付き走査型近視野原子間力顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-237730
公開番号（公開出願番号）：特開平8-129017
出願日： 1995年08月23日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【課題】 液体中で生物試料や有機薄膜試料を観察できる液中観察機能付き走査型近視野原子間力顕微鏡を実現する。【解決手段】 試料表面の形状および光学的特性を観察する走査型近視野原子間力顕微鏡において、試料下面には液体および試料を保持する液体保持試料皿2と、試料上面には液体の液面を保持する液面保持窓板10とを、互いに接触しないように独立して、かつ、前記液体保持試料皿と前記液面保持窓板の間で液体を表面張力で維持し得る位置に設置し、液中での試料の観察を行う。
請求項（抜粋）：
試料を液体中に浸漬して保持する液体保持試料皿と、前記液体保持試料皿の上方に配置され前記液体の液面を覆うように保持する液面保持窓板と、先端部に光を透過する透過孔と一部に光反射手段を有し前記先端部が前記液体中に浸漬して前記試料の上面に配置されるプローブと、前記プローブを支持するプローブ支持基板と、前記透過孔から前記試料に照射する光を発生する光源と、前記照射された光により生じる前記試料からの光情報を検出して電気信号に変換する検出手段と、前記試料との相互作用により生じる前記プローブのたわみ量を検出するために前記光反射手段に照射するレーザー光を発生するレーザー光源と、前記光反射手段からの反射光を受けて電気信号に変換する光電変換素子と、前記試料と前記プローブを相対的に移動させる移動手段と、前記試料の表面と前記プローブの先端の間の距離を制御する距離制御手段とを有することを特徴とする液中観察機能付き走査型近視野原子間力顕微鏡
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
