特許
J-GLOBAL ID：200903009045654390
基板又はシート表面洗浄における加圧制御機構及びこの機構を具える基板又はシート表面洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-269071
公開番号（公開出願番号）：特開2000-084514
出願日： 1998年09月08日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：
【要約】【課題】 粘着ラバーロールにより基板又はシートの表面に付着する塵埃を吸着し、更にその粘着ラバーロールに吸着した塵埃を粘着テープロールにより転写除去する表面洗浄装置において、粘着テープロールと粘着ラバーロールと基板又はシートとの各間の圧力を可変せさて効率よく洗浄を行えるようにする。【解決手段】 粘着ラバーロール(4)及びそれに密着する粘着テープロール(8)の各支持軸(9)を上下方向にスライド可能となるスライド回転軸受(10)によって回転自在に支持すると共に、粘着テープロール(8)のスライド回転軸受(10)に一体に付設される受圧ロッド(11)を直流モーター(15)によりギア(16)(17)(18)を介して駆動する加圧ロッド(14)によって、光センサー(19)により制御しつつ押勢することで、粘着テープロールと粘着ラバーロールと基板又はシートとの各間の圧力の最適化が図られ、効率よく基板又はシートの表面上の塵埃が除去されるものである。
請求項（抜粋）：
基板又はシートの表面に直接密着可能となる粘着ラバーロールと、この粘着ラバーロールの表面に密着、離脱自在となり、その表面に付着する塵埃を吸着して転写除去する粘着テープロールとの間で、上記粘着テープロールを上下方向へスライド可能となるように支持してなるスライド回転軸受に受圧ロッド支持体を一体に付設し、その受圧ロッド支持体に圧縮バネを介して設けられる受圧ロッドに対して、モーターの駆動により移動してなる加圧ロッドにより押勢、あるいは受圧ロッドに加圧ロッドを連接一体として押勢することで、当初間隔を設けてなる粘着テープロールと粘着ラバーロール間の、又、粘着テープロールを介して、当初間隔を設けてなる粘着ラバーロールと基板又はシート間の圧力を適宜可変させてなる基板又はシート表面洗浄における加圧制御機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
3B116AA02
, 3B116AA03
, 3B116AA04
, 3B116AB13
, 3B116BC07
, 3B116CD23
, 3B116CD42
, 3B116CD43
審査官引用 (1件)
-
板のクリーニング機構
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-009143
出願人：日本電気エンジニアリング株式会社
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