イオン源用電極およびそれを用いたイオン源

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-312748
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148107
出願日： 1994年11月22日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】スパッタによる電極表面からの不純物発生を抑制してプラズマの純度低下を抑えることができるイオン源用電極を提供することを一つの目的とし、スパッタによる電極表面およびソース部容器内壁からの不純物発生を抑制してプラズマの純度低下を抑えることができるイオン源を提供することを他の目的とする。【構成】このイオン源用電極50は、金属製の電極板56の、イオン源においてプラズマ側になる面を、電極板56を構成する材料よりもスパッタ率の小さい材料から成る電極保護板64で覆った構造をしている。電極保護板64は、電極板56の各イオン引出し孔58に対応する位置に、同イオン引出し孔58に対応する形状をした孔66を有している。この電極保護板64は、電極板56の表面にねじ68を用いて着脱可能に取り付けるのが好ましい。

請求項（抜粋）：

1以上のイオン引出し孔を面内に有し、かつ冷媒を通す冷却パイプを内部に有する電極板のイオン源においてプラズマ側になる面を、同電極板のイオン引出し孔に対応する孔を有し、かつ同電極板を構成する材料よりもスパッタ率の小さい材料から成る電極保護板で覆っていることを特徴とするイオン源用電極。

IPC (2件)：

H01J 37/08 , H01J 27/16

引用特許：

審査官引用 (1件)

イオン源
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-266050 出願人：株式会社東芝

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