特許

J-GLOBAL ID：200903009068767540

枚葉塗布方法、枚葉塗布装置、塗布基板、および枚葉塗布部材の製造方法

発明者： 山内 康嗣
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (2件)： 古部 次郎 ,  千田 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-148788
公開番号（公開出願番号）：特開2005-329305
出願日： 2004年05月19日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：

【課題】 大型基板の塗布に際して液切れ欠陥の発生を抑制し、製造歩留まりの向上と品質の向上を図る。 【解決手段】 液晶ディスプレイに用いられるカラーフィルタなどの枚葉の被塗布部材に対して液材を塗布する枚葉塗布方法であって、液材の吐出部と被塗布部材とを相対移動させる前に、所定の初期ビード量からなる液溜まりを被塗布部材に形成し、その後、液材の吐出部と被塗布部材とを相対移動させ、この相対移動の開始から有意に遅らせて吐出部からの液材の吐出を開始する。 【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

枚葉の被塗布部材に対して液材を塗布する枚葉塗布方法であって、 液材の吐出部と被塗布部材とを相対移動させるステップと、 前記相対移動の開始から有意に遅らせて前記吐出部からの液材の吐出を開始するステップと を含む枚葉塗布方法。

IPC (2件)：

B05D1/26 ,  B05C5/02

FI (2件)：

B05D1/26 Z ,  B05C5/02

Fターム (17件)：

4D075AC02 ,  4D075AC73 ,  4D075AC84 ,  4D075AC88 ,  4D075AC91 ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EA45 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041CA02 ,  4F041CA16

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 枚葉塗工方法及び枚葉塗工装置、カラーフィルタの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-333712   出願人：キヤノン株式会社