特許
J-GLOBAL ID：200903009098204450

静電気除去方法および基板処理装置

発明者：
小林 三奈

小林 三奈 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (7件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士 ,  加藤 清志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-024853
公開番号（公開出願番号）：特開2006-216583
出願日： 2005年02月01日
公開日（公表日）： 2006年08月17日
要約：
【課題】 基板載置台から基板を剥離させる際に生ずる静電気を確実に除電する静電気除去方法および基板処理装置を提供する。【解決手段】 板状の基板1を基板載置台2から剥離する際にイオンを放出し基板1に生ずる静電気を除去する静電気除去方法において、基板1を複数の昇降ピン3により基板載置台2から持ち上げて剥離させる際に、昇降ピン3による剥離中心部分からイオンまたはイオン化気体を放出し、基板載置台2と基板1との間に発生する静電気を除去する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
板状の基板を基板載置台から剥離する際にイオンを放出し前記基板に生ずる静電気を除去する静電気除去方法において、 前記基板を複数の昇降ピンにより前記基板載置台から持ち上げて剥離させる際に、前記昇降ピンによる剥離中心部分から前記イオンを放出し、前記基板載置台と前記基板との間に発生する静電気を除去する静電気除去方法。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/66 J
Fターム (16件)：
4M106AA01 ,  4M106BA10 ,  4M106CA38 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ01 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA05 ,  5F031HA12 ,  5F031HA33 ,  5F031HA34 ,  5F031HA35 ,  5F031JA01 ,  5F031JA45 ,  5F031MA33 ,  5F031PA21
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-118262   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 基板固定台
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-017999   出願人：株式会社日立製作所
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-024050   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
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審査官引用 (3件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-024050   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-105496   出願人：日本電気株式会社
  • 基板吸着保持装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-110644   出願人：日本電気株式会社

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