特許
J-GLOBAL ID:200903009114458034

ワイヤーソーの製造方法並びにワイヤーソー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青木 秀實 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-038172
公開番号(公開出願番号):特開平11-216658
出願日: 1998年02月03日
公開日(公表日): 1999年08月10日
要約:
【要約】【課題】 シリコンウエハーのスライシング加工などのできるワイヤーソーの製造方法並びにワイヤーソーを提供する。【解決手段】 高強度の芯線1を、樹脂溶液中に砥粒3とフィラー11を混入した混合塗料5中を通過させた後、芯線1に付着した該塗料5を内周面に凹部Bのあるダイス2を回転させながら絞って、砥粒3を該芯線1の外周面上に螺旋状に位置せしめて焼付け炉7に導き、該塗料5を該芯線1外周面上に焼付け、固着することを特徴とする。製造されたワイヤーソーにおける固着砥粒は、芯線上に螺旋状に突出形成されて切れ味がよい。
請求項(抜粋):
高強度の芯線を砥粒又は砥粒とフィラーの混入した樹脂溶液中を通過せしめる工程と、上記通過した芯線をダイスを通して乾燥部に導く工程と、乾燥部において樹脂を加熱固化し、芯線外周面上に砥粒を固着せしめる工程とを具備する方法において、上記ダイスは芯線の通過する内周面軸方向に設けた凹部によって非円形に形成され、かつ該ダイスが通過する芯線の軸に対して垂直方向に回転し、通過する芯線に付着した液中の砥粒は、ダイス内周面に設けた凹部により、芯線外周面の螺旋状の位置に樹脂被膜により配列固着されることを特徴とするワイヤーソーの製造方法。
IPC (5件):
B24B 27/06 ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/28 ,  B24D 11/00 ,  B28D 5/04
FI (5件):
B24B 27/06 H ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/28 ,  B24D 11/00 G ,  B28D 5/04 C
引用特許:
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る