特許

J-GLOBAL ID：200903009141501081

感光性樹脂組成物及びそのパターン形成方法

発明者： 真壁 裕明 ,  竹田 敏郎 ,  竹田 直滋
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-078578
公開番号（公開出願番号）：特開平9-222729
出願日： 1996年04月01日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】 接着性に優れた、極めて微細なポリイミドパターンを得ることのできる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感光基を含む特定構造のポリアミド酸エステル、アミノ基を含有するシランカップリング剤とテトラカルボン酸二無水物とを反応させてなる有機ケイ素化合物、光重合開始剤及び/又は光増感剤からなる感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1a)、(1b)及び(1c)で示されるポリアミド酸エステル、(B)下記一般式(2)で示される有機ケイ素化合物、(C)光重合開始剤及び/又は光増感剤を必須成分とすることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】《式中、R<SB>1</SB>:4価の芳香族残基R<SB>2</SB>:分子量が(2種以上の混合物では平均分子量)160以下の2価の有機基R<SB>5</SB>:2〜6価の有機基R<SB>6</SB>:-H又は-CH<SB>3</SB>それぞれのR<SB>1</SB>、R<SB>2</SB>、R<SB>3</SB>、R<SB>4</SB>、R<SB>5</SB>、R<SB>6</SB>はそれぞれが独立であって、同じでも、異なってもよい。p:1〜5の整数x、y、z:各構造単位の百分率で、0<x及びy<100、0<z<80かつ、x+y+z=100 》【化2】

IPC (7件)：

G03F 7/027 514 ,  C08F299/02 MRU ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/035 ,  G03F 7/038 504 ,  G03F 7/075 521 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/027 514 ,  C08F299/02 MRU ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/035 ,  G03F 7/038 504 ,  G03F 7/075 521 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-137456   出願人：宇部興産株式会社
• i線露光用感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-181529   出願人：旭化成工業株式会社
• i線照射によるレリーフ構造体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-124383   出願人：チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシャフト, オーシージーミクロエレクトロニクスインコーポレーテッド
• 特開昭59-116746
  

審査官引用 (4件)

• 感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-137456   出願人：宇部興産株式会社
• i線露光用感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-181529   出願人：旭化成工業株式会社
• i線照射によるレリーフ構造体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-124383   出願人：チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシャフト, オーシージーミクロエレクトロニクスインコーポレーテッド
• 特開昭59-116746