特許
J-GLOBAL ID:200903009225124402
弾性表面波装置、フィルタ装置および通信装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-262919
公開番号(公開出願番号):特開2008-085620
出願日: 2006年09月27日
公開日(公表日): 2008年04月10日
要約:
【課題】 弾性表面波を発生する電極をウェハレベルで簡単かつ良好に封止することができる弾性表面波装置を提供すること。 【解決手段】 弾性表面波を伝搬する圧電基板と、圧電基板上に形成され、弾性表面波の伝搬方向と直交する方向に長い電極指を複数本有する櫛歯状電極が複数個組み合わされてなるIDT電極と、配設面を有するとともに圧電基板とこの配設面で接するように形成され、圧電基板との間にIDT電極を収容する収容空間を形成する封止部材と、を含む弾性表面波装置であって、伝搬方向と一致し、IDT電極の中心を通る仮想的な中心線を定義したときに、中心線の両側において、この中心線から配設面を構成する外郭線までの距離が、IDT電極から離れるにしたがって短くなる箇所を有する弾性表面波装置である。封止部材が漏洩した弾性表面波を反射させ弾性表面波の閉じ込め効率を増加させることができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
弾性表面波を伝搬する圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、前記弾性表面波の伝搬方向と直交する方向に長い電極指を複数本有する櫛歯状電極が複数個組み合わされてなるIDT電極と、
配設面を有するとともに前記圧電基板とこの配設面で接するように形成され、前記圧電基板との間に前記IDT電極を収容する収容空間を形成する封止部材と、を含む弾性表面波装置であって、
前記伝搬方向と一致し、前記圧電基板上において、前記IDT電極の中心を通る仮想的な中心線を定義したときに、
前記配設面の外郭線は、前記中心線の両側において、この中心線に沿って前記IDT電極から離れるにしたがって、この中心線から前記配設面を構成する外郭線までの距離が短くなる反射部を有し、
前記反射部は、少なくとも一部が、前記IDT電極を前記中心線に沿って移動させた軌跡上に存在する、弾性表面波装置。
IPC (4件):
H03H 9/25
, H03H 9/145
, H01L 23/00
, H01L 23/02
FI (4件):
H03H9/25 A
, H03H9/145 D
, H01L23/00 B
, H01L23/02 H
Fターム (11件):
5J097AA08
, 5J097AA29
, 5J097BB11
, 5J097BB15
, 5J097CC03
, 5J097CC04
, 5J097CC05
, 5J097DD14
, 5J097GG02
, 5J097GG03
, 5J097GG04
引用特許:
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