特許
J-GLOBAL ID:200903009267617719

力の検出装置および運動検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 下出 隆史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-037973
公開番号(公開出願番号):特開平7-225162
出願日: 1994年02月10日
公開日(公表日): 1995年08月22日
要約:
【要約】【目的】 作用する力による検出板の変位に基づく容量変化により、力や運動を検出する検出装置において、発振回路や復調回路を用いることなく構成する。【構成】 コリオリ力によりy軸方向に生じる振動を、振動部14に設けた電極26と固定壁20側に設けられた電極28とが空気層を挟んで形成するコンデンサCxの容量変化として検出する。このコンデンサを、基準電圧Vref を増幅するスイッチドキャパシタ回路35の演算増幅器OP2の出力側と反転入力側とを接続するコンデンサCxとして用いる。角速度により振動部14が振動すると、容量変化となり、これがスイッチドキャパシタ回路35の出力電圧の変化として出力される。発振回路や復調回路を用いないので、これらの回路の周波数特性に影響されることがなく、角速度などの運動や作用する力の高精度な検出が可能となる。
請求項(抜粋):
所定方向に変位可能に設けられた検出板に、検出しようとする力が作用して生じる該検出板の変位に基づいて、該力を検出する検出装置であって、前記検出板の一側面に、前記検出板の前記所定方向への変位より容量が変化する第1のコンデンサを形成し、容量固定の第2のコンデンサと、前記第1のコンデンサと、演算増幅器とによりスイッチドキャパシタ回路を構成し、該スイッチドキャパシタ回路の入力に基準電圧源を接続し、該スイッチドキャパシタ回路の出力を、前記力に対応した信号として出力する力の検出装置。
IPC (4件):
G01L 1/14 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/14
引用特許:
審査官引用 (3件)

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