特許
J-GLOBAL ID:200903009275319050

支持体の表面処理装置、支持体の表面処理方法、及び表面処理した支持体

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-245151
公開番号(公開出願番号):特開2000-072903
出願日: 1998年08月31日
公開日(公表日): 2000年03月07日
要約:
【要約】【課題】 高速で搬送している長尺の支持体を連続して大気圧もしくはその近傍の圧力下でガス中放電プラズマ処理する際、全く新規な方法で、支持体に同伴してくる空気を処理室内への混入をほぼ完全に防ぎ、処理効率を向上させ、非接着性物質の接着性を増強すること、しかも品質を高めることの出来る支持体の表面処理装置、またそれを使用して処理する支持体の表面処理方法、更にその方法を使用して処理した表面処理支持体を得ることにある。【解決手段】 大気圧もしくはその近傍の圧力下、導入する不活性ガスの50圧力%以上をアルゴンガスとして連続搬送している支持体の表面をガス中放電プラズマ処理する処理室を有し、該処理室の支持体の入口側に二つ以上の、または出入口の両側にそれぞれ二つ以上の予備室を有することを特徴とする支持体の表面処理装置。
請求項(抜粋):
大気圧もしくはその近傍の圧力下、導入する不活性ガスの50圧力%以上をアルゴンガスとして連続搬送している支持体の表面をガス中放電プラズマ処理する処理室を有し、処理ガスの少なくとも1成分を有している予備室を、支持体の入口側に一つ、または出入口両側に一つづつ該処理室に隣接して有することを特徴とする支持体の表面処理装置。
IPC (2件):
C08J 7/00 306 ,  B01J 19/08
FI (2件):
C08J 7/00 306 ,  B01J 19/08 C
Fターム (21件):
4F073AA01 ,  4F073BA07 ,  4F073BA08 ,  4F073BA23 ,  4F073BA24 ,  4F073BB01 ,  4F073CA01 ,  4F073CA09 ,  4G075AA29 ,  4G075AA30 ,  4G075BC06 ,  4G075CA15 ,  4G075CA47 ,  4G075CA63 ,  4G075EC21 ,  4G075ED04 ,  4G075ED11 ,  4G075EE01 ,  4G075EE40 ,  4G075FB13 ,  4G075FC15
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (1件)
  • 表面処理装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-237050   出願人:凸版印刷株式会社

前のページに戻る