レーザ加工用光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鎌田文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-243913
公開番号（公開出願番号）：特開平8-108289
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】【目的】レーザ光を多分割する機能を集光機能とは分離することによって反射鏡、集光レンズなど個々の光学部品を製作容易としてコストを低減しレーザ加工時の汚染、破損による維持費用を低減させる。【構成】レーザ発振器から伝送系を介して送られてくるレーザビームB1は加工ヘッド1内で平板状の反射鏡3で多分割(図示の例は2つ)され、それぞれのレーザビームb1 、b2 はもう1つの単一の放物面鏡からなる反射鏡4で反射されて被加工物W上で横方向に分散した焦点P1 、P2 に集光される。反射鏡3は、面の傾きを変化させることのできる2つの半円鏡3a、3bから成る。

請求項（抜粋）：

レーザ発振器と、この発振器により射出されたレーザビームを伝送する伝送光学系と、レーザビームを複数の焦点に集光する集光光学系とから成り、集光光学系がレーザビームを複数のビームに分割する多分割光学部品とこれらのビームを被加工物に集光する集光部品とを分離して備え、かつ多分割光学部品は集光部品の少なくとも1つ手前側に設けられて成るレーザ加工用光学装置。

IPC (3件)：

B23K 26/06 , G02B 17/00 , G02B 27/10

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭57-190794
特開平1-313196
特開昭61-088989

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