特許

J-GLOBAL ID：200903009316188705

窒化珪素系焼結体

発明者： 吉村 雅司 ,  山形 伸一 ,  山本 剛久 ,  山川 晃
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 小松 秀岳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-057055
公開番号（公開出願番号）：特開平6-271358
出願日： 1993年03月17日
公開日（公表日）： 1994年09月27日
要約：

【要約】【目的】 機械的特性が優れており、かつ、生産が比較的容易な窒化珪素系焼結体を提供すること。【構成】 焼結体がSi3N4、サイアロンからなる柱状粒子、等軸状粒子と間隙の粒界相に分散した微細分散粒を含み、焼結体の柱状粒子の短軸径の平均粒径が0.3μm以下、長軸径の平均系が5μm以下であり、等軸粒の平均粒径が0.5μm、以下、分散粒子の平均粒径が0.03μm以下である窒化珪素系焼結体である。

請求項（抜粋）：

焼結体がSi3N4、サイアロンの内少なくとも1種以上からなる柱状粒子と、等軸状粒子と間隙の粒界相に分散した微細分散粒を含み、焼結体の柱状粒子の短軸径の平均粒径が0.3μm以下、長軸径の平均径が5μm以下であり、等軸粒の平均粒径が0.5μm以下、分散粒子の平均粒径が0.03μm以下であることを特徴とする窒化珪素系焼結体。

IPC (2件)：

C04B 35/58 102 ,  C04B 35/58 302

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 窒化ケイ素系焼結体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-276607   出願人：住友電気工業株式会社