ウエーハの洗浄装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小野尚純 , 奥貫佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-028646
公開番号（公開出願番号）：特開2009-188296
出願日： 2008年02月08日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：

【課題】加工されたウエーハを効率よく洗浄することができるウエーハの洗浄装置を提供する。【解決手段】環状のフレームに装着された粘着テープの表面に貼着されたウエーハを洗浄するウエーハの洗浄装置であって、粘着テープを介して環状のフレームに支持されたウエーハを収容する複数の載置棚を有するカセットが載置されるカセットテーブルを備えたカセット載置手段と、粘着テープを介して環状のフレームに支持されたウエーハを洗浄する洗浄手段と、カセットテーブルと洗浄手段との間に配設され粘着テープを介して環状のフレームに支持されたウエーハを仮置きする仮置手段と、カセット載置手段のカセットテーブル上に載置されたカセットに収容された粘着テープを介して環状のフレームに支持されたウエーハを仮置手段および洗浄手段への搬送経路に沿って搬送する搬送手段を具備している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

環状のフレームに装着された粘着テープの表面に貼着されたウエーハを洗浄するウエーハの洗浄装置であって、該粘着テープを介して環状のフレームに支持されたウエーハを収容する複数の載置棚を有するカセットが載置されるカセットテーブルを備えたカセット載置手段と、該粘着テープを介して環状のフレームに支持されたウエーハを洗浄する洗浄手段と、該カセットテーブルと該洗浄手段との間に配設され該粘着テープを介して環状のフレームに支持されたウエーハを仮置きする仮置手段と、該カセット載置手段の該カセットテーブル上に載置されたカセットに収容された該粘着テープを介して環状のフレームに支持されたウエーハを該仮置手段および該洗浄手段への搬送経路に沿って搬送する搬送手段を具備し、該搬送手段は、該環状のフレームの端部を把持する把持手段と、該環状のフレームの上面を保持する保持手段と、該把持手段および該保持手段を支持する支持アームと、該支持アームを該搬送経路に沿って移動せしめる移動手段、とを具備している、ことを特徴とするウエーハの洗浄装置。

IPC (1件)：

H01L 21/304

FI (2件)：

H01L21/304 643A , H01L21/304 648C

Fターム (18件)：

5F157AA03 , 5F157AA72 , 5F157AA99 , 5F157AB02 , 5F157AB16 , 5F157AB33 , 5F157AB42 , 5F157AB52 , 5F157AB90 , 5F157AC01 , 5F157AC26 , 5F157BB13 , 5F157CB03 , 5F157CB13 , 5F157CB15 , 5F157DB02 , 5F157DB47 , 5F157DC51

引用特許：

出願人引用 (1件)

切削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-028100 出願人：株式会社ディスコ

審査官引用 (2件)

切削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-028100 出願人：株式会社ディスコ
加工機
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-362084 出願人：株式会社ディスコ

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