特許

J-GLOBAL ID：200903009363211138

露光描画装置および露光描画装置における除電方法

発明者： 古川 智彦 ,  河合 靖之 ,  野口 茂
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-048530
公開番号（公開出願番号）：特開平10-233355
出願日： 1997年02月18日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】 基板の除電を行うための除電手段を備えた、図形データを用い基板上のレジスト部を電離放射線にて選択的に露光描画する方式の露光描画装置を提供する。【解決手段】 図形データを用い基板上のレジスト部を電離放射線にて選択的に露光描画する方式の露光描画装置であって、基板の除電を行うためのUV照射部、軟X線照射部等の除電手段を備えている。

請求項（抜粋）：

図形データを用い基板上のレジスト部を電離放射線にて選択的に露光描画する方式の露光描画装置であって、基板の除電を行うための除電手段を備えていることを特徴とする露光描画装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 506

FI (4件)：

H01L 21/30 541 G ,  G03F 1/08 C ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 506

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 電子ビーム露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-210171   出願人：富士通株式会社
• 静電気除去方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-024488   出願人：財団法人半導体研究振興会